Emerging lithographic technologies IV - 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA
- Författare
- (Elizabeth A. Dobisz, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2000 | USA | 900 sidor. | 0-8194-3615-1 |